高精度:用于距离和厚度测量的白色光干涉仪

创新的白色光干涉仪用于高精度距离和厚度测量,具有亚风计分辨率,其绝对测量范围为2.1毫米。紧凑型和强大的传感器是在密闭空间中集成的理想选择。控制器具有有效的温度控制,这补偿了环境温度的变化,从而实现了巨大的温度稳定性。通过分辨率为<30微米,来自微epsilon的创新干涉仪在光学测量技术中实现了新的精度。根据应用程序,有三种不同的版本可用。IMS5400-DS用于高精度和工业距离测量;IMS5400 -TH用于精确厚度测量;和IMS5600-DS具有真空适当的设计,用于亚腔仪精度的距离测量。