压电系统Jena(Hopedale,MA)引入了PX 100帽压电纳米定位阶段,该阶段在闭环模式下具有高达100微米运动的行程范围。内置了高耗能电容反馈传感器。传感器测量以子纳米纳米精度的偏差,并以直接计量方式运行。该阶段测量40×40×20毫米,并且设计用于诸如镜子或其他光学组件的小型部件的高度定位。

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运动控制与自动化技术杂志

本文首先出现在2012年8月期问题运动控制和自动化技术杂志。

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